Ултра танка кварцна плочица за полупроводнике

Параметар

Стандардна спецификација

Материјали

Фусед Силиц (ЈГС1/ЈГС2/ЈГС3), Борофлоат33, Д263т, Б270и,

Цорнинг 7980, Цорнинг Еагле КСГ итд.

Пречник

2", 3", 4", 6", 8", 12" и квадрат

Дебљина

0,1-3,0 мм

ТТВ

Стандард < 10 ум, максималне могућности<1 um

Бов

Стандард < 60 ум, максималне могућности<30 um

Варп

Стандард < 60 ум, максималне могућности<30 um

Површина

ДСП, ССП

грубост (Ра)

Стандард Ра< 1nm, Maximum Capabilities <0.5nm

S/D

Стандард 60/40, максималне могућности 20/10

Напомена

Прилагођено је доступно

Пхисицал Пропертиес

Вредности

Чистоћа

＞99.99%

Густина

2,2 г/цм³

Транспарентност

＞90%

Мохс Харднесс

5.5--6.5

Тачка деформације

1280 степени

Тачка омекшавања

1750 степени

Тачка жарења

1250 степени

Специфична топлота (20 - 350 степен)

670Ј/кг. степен

Топлотна проводљивост (20 степени)

1,4В/м. степен

Топлотна проводљивост (в/мк, 1000 степени)

1.0-1.2

Индекс преламања

1.4585

Коефицијент термичке експанзије

5.5*10 ^-7цм/цм. степен

Врућа радна температура -

1750--2050 степени

Краткорочна - температура рада

1450 степени

Дугорочна - температура рада

1100 степени

Хемијска својства

Вредности

Отпоран на киселине

Јака киселина (осим ХФ), јака алкалија, органски раствор

Високе температуре Отпоран на корозију

Одлично

Садржај металних нечистоћа

<5 ппм

Елецтрицал Пропертиес

Вредности

Отпорност

7*10⁷Ω.цм

Инсулатион Стренгтх

250~400Кв/цм

Диелектрична константа

3.7~3.9

Диелектрични коефицијент апсорпције

＜4*10^-4

Диелектрични коефицијент губитка

＜1*10^-4

Мецханицал Пропертиес

Вредности

Снага на притисак

1100МПа

Снага при савијању

67МПа

Затезна чврстоћа

48МПа

Поиссонов однос

0.14~0.17

Иоунгов модул

72000МПа

Модул смицања

31000МПа